中国汽车电子、消费电子、智能家居、医疗设备等行业的迅猛发展，无疑也使得上游的 MEMS 传感器行业进入快车道。据统计，在 2016 年-2019 年间，中国 MEMS 行业市场规模以稳定增速持续扩张。截至 2019 年，中国 MEMS 市场规模已经达到了 600 亿元，而该数字预计将在 2021 年将达到 810 亿元。
（数据来源：中商产业研究院）
MEMS 传感器市场规模大、种类繁多，涉及压力传感器、光学 MEMS、生物 MEMS 等，各个行业应用功能各异，因而对于材料的需求也不尽相同。可否有某种解决方案，既能满足不同行业需求，实现更加精准、更微型的设备性能；又能提供多元、自由的设计空间？
深耕特种玻璃制造的德国肖特，于 2018 年给市场交出了一份答卷——FLEXINITY® 结构化玻璃。肖特通过创新的晶圆和超薄玻璃结构组合，来为用户提供高精度和多功能的结构化玻璃基片。
2020 年，FLEXINITY® 结构化玻璃实现全面升级，可以为不同行业用户提供从产品开发到大规模生产的全方位服务。
【赋能创意，推动行业变革】
受材料的公差和制造能力的限制，传统玻璃晶圆的标准生产技术已经达到瓶颈。肖特的 FLEXINITY® 结构化玻璃成为一种折中方案：在保证高精度的前提下，为不同行业客户提供灵活定制化的解决方案。同时 FLEXINITY® 结构化玻璃可批量生产的能力，也使得客户实现行业变革成为可能。
点击视频，探索 FLEXINITY® 结构化玻璃助力高新行业的奥秘
±10 公差，匠人匠心
高精密公差：±10μm，实现部件精准匹配
在高科技应用中，精确定位和对准至关重要。肖特 FLEXINITY® 结构化玻璃突破性的结构，能够达到极高的精准度，从而实现产品与合作部件的完美匹配。
就参数而言，肖特 FLEXINITY® 结构化玻璃可实现：
• 微米位置公差 < 20 μm (equiv. ± 10 μm)
•外形尺寸公差 < 20 μm (equiv. ± 10 μm)
•结构半径 ≥ 100 μm
除了高精度的性能之外，特种玻璃自身结构元素所具备的高强度和高可靠性，也能够使得 FLEXINITY® 结构化玻璃在具体应用整合的过程中实现产品的高效能和高产能。
凡能所想，皆可定制
玻璃尺寸可选：玻璃晶圆的厚度、结构半径、最大宽度等，均可定制
玻璃种类可选：硼硅玻璃、无碱平板玻璃等，可根据具体行业需求选择玻璃种类
通孔方案定制：几乎可以满足客户任何形状的通孔需求
全面升级后，肖特 FLEXINITY® 的产品范围得到了进一步延伸，可以为不同行业的客户提供定制化的解决方案。从玻璃类型到通孔方案，FLEXINITY® 结构化玻璃能在充分满足客户需求的同时，为客户提供更多自由设计的空间。
FLEXINITY® 结构化玻璃解决方案中，客户可对玻璃的厚度和宽度进行定制。最薄的玻璃晶圆厚度低至 0.1 mm，最小结构半径仅 100μm ，满足了电子设备微型化的需求。此外，FLEXINITY® 结构化玻璃可以提供直径达到 300 mm 甚至更大的超大玻璃晶圆。
除了物理形态的选择，肖特还提供了多元的玻璃类型，包括中硼硅玻璃 D 263® 系列，MEMpax®，BOROFLOAT 33® 以及无碱平板玻璃 AF 32® eco。用户可以根据需求选择不同的玻璃型号，以生产出符合期望的产品。
与此同时，SCHOTT 依照玻璃基片中的通孔提供定制解决方案，在数量和几何要求上，几乎满足无限的设计可能。
无论用户的产品应用是什么，需要什么样的物理特性、微结构设计、大小、表面或强度要求，肖特 FLEXINITY® 都能够提供适合的解决方案。
MEMS 传感器，大显身手
FLEXINITY® 结构化玻璃解决方案诞生以来，已经在 MEMS 传感器中的压力传感器、光学传感器、微流体传感器等领域提供了可行且极具竞争力等解决方案，推动了汽车电子行业、消费电子行业以及医疗行业发展。
在汽车压力传感器应用上，肖特结构玻璃晶圆具有火抛光表面，与硅的键合质量能够达到更高，并且肖特还能提供比发丝还薄的玻璃晶圆，适用于超小型传感器的设计与生产。
FLEXINITY® 结构化玻璃精准的几何尺寸、优异的光学性质和极高的表面质量，使得其在 3D 成像及传感领域同样大有建树。根据结构化玻璃材料不同的厚度，FLEXINITY® 可以针对 3D 成像和传感的飞行时间 (ToF)、结构光、立体视觉等众多应用提供定制解决方案。
（FLEXINITY® 结构化玻璃可作为玻璃垫片）
在微流控领域，FLEXINITY® 也能够更好地帮助客户实现更精准、更薄和更小的微流控解决方案。
具体而言，肖特提供的 D 263® bio 可被加工成具有各种结构的玻片或晶圆，此外还能够进行化学强化从而具有较高的机械强度。这些优点使其成为对光学质量和化学稳定性要求较高产品的理想选择。
批量生产，助力技术革命
2020 年，位于马来西亚的工厂已投入量产，为全球客户提供样本以及量产。从产品开发到最终量产，肖特 FLEXINITY® 都可以是高新科技行业理想的合作伙伴。
「电子元器件生产商急需更精准的定制化解决方案。在肖特，我们具有领先的科研能力，并熟悉终端应用的需求，因此我们深刻理解客户的不同需要。我们的联合团队包括 R&D 和技术服务的同事，能够找到符合客户需要的解决方案，实现客户在科技创新的愿景。我们能够成为客户产品开发路线图的一部分，帮助提升产品，助力革命性的未来新产品。」
——Dr. Ulrich Peuchert，肖特玻璃晶圆业务全球业务开发和产品经理
【百年热忱，#Glasslovers# 贯穿始终】
从 1884 到 2020，#Glasslovers 精神 # 贯穿在 130 余年的发展进程中，成为无数肖特人秉承始终的信条。凭借一份热爱，肖特人一次次打破了技术与创造力的边界，扩大了想象的疆土，探索了玻璃的无限可能。
从居家生活到医疗健康，从工业能源到航空航天……玻璃的用途随处可见，而今天，迎着消费电子与互联网的风口，玻璃已经与硅一样，成为了高薪技术产业中不可或缺的一部分。
【What is your next milestone？】
所有过往，皆为序章，所有将来，皆是可盼。
肖特 FLEXINITY® 将不断创新并探索玻璃晶圆在未来科技革命中的可能性。
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图片来源：上海欧雍
